自动聚焦显微镜的研究在高倍率显微图像的处理过程中,自动聚焦具有重要意义。本文对动态自动聚焦显微镜的清晰度自动检测系统和高精度位置随动系统进行了分析,提出了理想的清晰度检测方法评价参数的特征,叙述了微分峰值检测法的原理、实验结果、 控制系统的设计和整机性能评价。如有您需要订购,欢迎来电咨询我们公司,EMMI 失效分析,为您提供详细介绍!
超声波扫描显微镜有两种工作模式:基于超声波脉冲反射和透射模式工作的。反射模式是主要的工作模式,它的特点是分辨率高,对待测样品厚度的没有限制。透射模式只在半导体企业中用作器件筛选。该系统的就是带压电陶瓷的微波链,压电陶瓷在射频信号发生的激励下,产生短的声脉冲,随后这些声脉冲被声透镜聚焦在一起,超声波扫描显微镜的这 个带压电陶瓷的部件叫换能器,EMMI微光显微镜,英文是:Transducer。换能器既能把电信号转换成声波信号,又能把从待测样品反射或透射回来的声波信号转换成电信 号,杭州EMMI,送回系统进行处理。
EMMI可广泛应用于侦测各种组件缺陷所产生的漏电流,包括闸极氧化层缺陷(Gate oxide defects)、静电放电破坏(ESD Failure)、闩锁效应(Latch Up)、漏电(Leakage)、接面漏电(Junction Leakage) 、顺向偏压(Forward Bias)及在饱和区域操作的晶体管,可藉由EMMI定位,找热点(Hot Spot 或找亮点)位置,进而得知缺陷原因,帮助后续进一步的失效分析。
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